手机版 |
产品分类 |
其他
多端口网络分析仪
中档网络分析仪
无线通信测试仪和系统
高端网络分析仪
真空材料、配件和耗材
Obducat纳米压印EITRE® 3
NILT纳米压印仪
光学仪器及设备
布鲁克BioScope Resolve生物型原子力显微镜
Dimension Edge扫描探针显微镜系统
布鲁克3D光学轮廓仪
布鲁克Hysitron PI 95透射电镜测试系统
布鲁克nanoIR AFM红外原子力显微镜
布鲁克Dimension FastScan原子力显微镜
测量/计量仪器
多普勒激光测振仪Memsmap 510
球面镜轮廓仪
平面平晶检测干涉仪
DektakXT台阶仪,表面轮廓仪
水平式激光干涉仪
试验机
布鲁克TI Premier高精度纳米力学测试系统
布鲁克纳米压痕仪/硬度/杨氏/弹性模量系统
Bruker摩擦磨损试验机UMT
制样/消解设备
科特莱思科热阻蒸发镀膜系统Nano36
纳米材料狭缝涂布仪
3D打印机
SLM金属3D打印机
EDEN 260VS高精度3D打印机做样
比表面积测定仪
扫描电镜/FIB原位纳米压痕仪Hysitron PI 88
光谱检测分析仪
LAMBDA 1050+紫外-可见-近红外分光光度计
质谱检测分析仪
LSX-213 G2+ Nd:YAG激光剥蚀系统
联系方式 |
产品系列
“狭缝涂布精密成膜装备系统”是一个高端先进制造业项目,其成膜技术可在玻璃、塑料、不锈钢等基体上精确涂布制备功能纳米、微米薄膜,在许多光电领域,如平板显示、触摸屏、薄膜太阳能电池、半导体元器件及封装、柔性及印制电子、智能玻璃等,有着非常广泛的应用。
从研发用150mm平台到6代线,为用户提供灵活多变的配置方案。不仅用于光学膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜等)、OLED涂布等,还可以用于有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等成卷基材的涂布,也应用于非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布。
狭缝涂布技术适用于各种涂布液,可广泛应用于不同基材表面的涂布,如玻璃,不锈钢和塑料基片涂布模具相对于基片精确地运动,并精确检测控制工艺流体及其涂布速度。
优势
可涂布不同粘度的各种材料
涂布厚度范围广泛:从20nm到150μm以上
很好的涂布一致性:通常优于±3%
效率高/材料利用率高:材料利用率可达95%
能够满足不同需求:从研发到小批量试制、大量生产
工艺具有高的可靠性和鲁棒性:良率可达到95%
适用于S2S和R2R加工模式
在一个工艺周期内可实现矩形阵列的涂布加工
过程参数
涂布间隙控制:动态控制涂布头高度 (z轴)
模具运动控制: 在涂布方向上(x轴)精确控制模具的运动轨迹(包括加速和减速参数)
模具设计: 针对高一致性、化学兼容性、低充填容量和条状涂布进行模具设计制造
涂布控制: 涂布速率(稳态涂布) 和涂布轮廓 (前后边缘)的高精度数字化控制
控制软件: 所有配方参数,数据监控和反馈控制,数据采集分析。
应用领域
平板显示
LCD, OLED, Flexible, Touch Screen
LCD, OLED, 柔性显示, 触摸屏
太阳能光伏
PV including CIGS, CdTe, OPV and C-Si
固态照明
OLED lighting
高附加值玻璃
可调光智能玻璃, 博物馆用玻璃
半导体, 微机电系统, 无线射频识别, 聚合物电池, 和各种有机及打印电子器件